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ABR-自动故障恢复
APC-自动拾取头校准(自动校准吸嘴位置)
AHC-自动高度校正(自动校准吸嘴高度)
FCF-力控制反馈
全局定位&局部定位
采用直线电机搬运,保证运动平台的精度
基于Windows下的控制系统,扩展性和兼容性优于PLC
Wafer、滤波器、III-V族芯片、第三代半导体芯片
输入:最大12寸Wafer
输出:Wafer、Panel
Die Size:0.6*0.3 to 7×7mm
联系人:陈先生 / 180 9890 5354
联系人:甘先生 / 138 2523 6561
电 话:0755-23219284
地 址:深圳市宝安区福海街道展城社区福园二路10号濠和智创A栋108、212
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